0
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.
Скачать бесплатно книгу “Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии”
Доступные форматы для скачивания: