Назад

Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии

0

Жанр Образовательная литература

ISBN: 9785927523955

Язык Русский

Объём книги: Фрагмент

В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.

Скачать бесплатно книгу “Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии”

Доступные форматы для скачивания:

Рецензии 0

Комментарии 0
Добавить комментарий
Осталось 500 символов

Похожие книги 12