Назад

Житяев Игорь Леонидович Скачать все книги 1 Количество книг

Жанр в блоке книги Образовательная литература

В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.

Популярные серии