Формирование функциональных слоев
0
Жанр Учебники И Пособия Для Вузов
Год 2020
Издательство
ISBN: 978-5-7038-5350-4
Объём книги Фрагмент
Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».
Скачать бесплатно книгу “Формирование функциональных слоев”
Доступные форматы для скачивания:
Комментарии 0
