Козубняк Светлана Скачать все книги 1 Количество книг
Жанр в блоке книги Учебники И Пособия Для Вузов
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
10 Количество книг
2 Количество книг
1 Количество книг
