Назад

Сигов Александр Сергеевич Скачать все книги 4 Количество книг

Жанр в блоке книги Учебная Литература

В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) – электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов.

Жанр в блоке книги Учебная Литература

Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры – технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.

Жанр в блоке книги Учебная Литература

В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) – электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются потоки ускоренных электронов и гамма-излучения. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и фокусировку данных видов ионизирующих излучений.

Жанр в блоке книги Электроэнергетика

Излагаются основные понятия и законы электромагнетизма и электродинамики. Рассматриваются прикладные вопросы: скин-эффект, плазмоника, волноводы и резонаторы, начала квантовой теории излучения, спонтанное параметрическое рассеяние света. Издание предназначено для студентов инженерно-физических направлений.

Популярные серии